リモート・プラズマ
リモート・プラズマ (またの名は、ダウンストリーム・プラズマもしくはアフターグロー・プラズマ）は、プラズマと材料の相互作用がプラズマ・アフターグロー内のプラズマから離れた場所で発生するプラズマ処理方法である[1][2]。
関連項目
[編集]リファレンス
[編集]- ^ Tommi Kääriäinen; David Cameron; Marja-Leena Kääriäinen; Arthur Sherman (17 May 2013). Atomic Layer Deposition: Principles, Characteristics, and Nanotechnology Applications. Wiley. pp. 21–. ISBN 978-1-118-74742-1
- ^ Alexander Fridman (5 May 2008). Plasma Chemistry. Cambridge University Press. pp. 532–. ISBN 978-1-139-47173-2